গ্রাফাইট ভিসি ইউনিফর্ম টেম্পারেচার প্লেট

একটি উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্রাফাইট (99.99% এর চেয়ে বেশি বা সমান কার্বন সামগ্রী) এবং ধাতব ম্যাট্রিক্স যৌগিক প্রক্রিয়া ব্যবহার করে, তাপ পরিবাহিতা 300 W/m·K-তে পৌঁছে, ওয়েফার স্তরে অভিন্ন তাপ অপচয় অর্জন করে এবং স্থানীয় হটস্পটগুলির ঝুঁকি হ্রাস করে।

একটি ভ্যাকুয়াম চেম্বারের সাথে গ্রাফাইটের একাধিক স্তর একত্রিত করার মাধ্যমে, তাপ প্রতিরোধ ক্ষমতা 0.05 K/W-তে হ্রাস করা হয়, এটি নিশ্চিত করে যে উচ্চ-পাওয়ার চিপগুলি চরম লোডের মধ্যে একটি স্থিতিশীল কাজের তাপমাত্রা বজায় রাখে।

-200 ডিগ্রি থেকে 3000 ডিগ্রি তাপমাত্রার পরিসর সহনশীল, অর্ধপরিবাহী সরঞ্জামগুলিতে উচ্চ-তাপমাত্রার প্রতিক্রিয়া পরিবেশের জন্য উপযুক্ত, হাইড্রোজেন এবং নাইট্রোজেনের মতো প্রক্রিয়া গ্যাসের সাথে চমৎকার জারা প্রতিরোধ এবং সামঞ্জস্যপূর্ণ।

CVD এবং PVD-এর মতো উচ্চ-তাপমাত্রার প্রক্রিয়াগুলিতে, গ্রাফাইট ভিসি অভিন্ন তাপমাত্রা প্লেট সমানভাবে তাপ বিতরণ করতে পারে, উপাদানের বিকৃতি রোধ করে এবং প্রক্রিয়ার স্থিতিশীলতা বাড়ায়।

উচ্চ-শক্তি লেজারের গহ্বরের সাথে অভিযোজিত, এটি অবিচ্ছিন্ন উচ্চ-পাওয়ার অপারেশনের সময় সরঞ্জামের নিরাপত্তা নিশ্চিত করতে অভিন্ন তাপমাত্রার প্লেটের মাধ্যমে দ্রুত তাপ নিঃসরণ করে।

ওয়েফার শুকানো এবং অ্যানিলিংয়ের মতো পদক্ষেপগুলিতে, অভিন্ন তাপমাত্রা প্লেট অভিন্ন তাপ বিতরণ সরবরাহ করে, তাপীয় চাপের কারণে উপাদান ক্ষতির ঝুঁকি হ্রাস করে।